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實(shí)驗(yàn)室儀器及設(shè)備
真空泵
MU100XE 干式真空泵

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-05-20
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:303
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類(lèi)
| 品牌 | KASHIYAMA/日本 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類(lèi) | 真空泵 | 產(chǎn)品類(lèi)型 | 無(wú)油泵 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合 |
MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業(yè)(KASHIYAMA)MU-XE 系列中的高性能干式真空泵,專(zhuān)為半導(dǎo)體、液晶顯示器、LED 和光伏行業(yè)設(shè)計(jì),具備無(wú)油潔凈、節(jié)能環(huán)保、結(jié)構(gòu)緊湊、易于維護(hù)等優(yōu)勢(shì)。憑借其可靠的性能和穩(wěn)定的運(yùn)行能力,MU100XE 已廣泛應(yīng)用于多種嚴(yán)苛的工藝環(huán)境中。
抽速:1660 L/min
極限壓力:1.5 Pa
電源:三相 AC 200–220V,50/60Hz
功耗:約 0.25 kW
尺寸:450 × 230 × 275 mm
重量:約 60 kg
無(wú)油干式設(shè)計(jì):無(wú)需油封,避免油蒸汽污染,特別適合潔凈室和敏感工藝環(huán)境。
高抽速、低能耗:優(yōu)化的Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),提供高達(dá)1660 L/min的穩(wěn)定抽速,節(jié)能高效。
結(jié)構(gòu)緊湊,易集成:體積小巧,適用于空間受限的自動(dòng)化設(shè)備或成套系統(tǒng)集成。
超低維護(hù)成本:部件壽命長(zhǎng),維護(hù)周期延長(zhǎng),降低運(yùn)營(yíng)成本。
適配性強(qiáng):可兼容多種工藝氣體環(huán)境,適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。
半導(dǎo)體制造設(shè)備(刻蝕、沉積、蝕刻等)
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