KASHIYAMA SDE120TX 真空泵是日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industries, Ltd.）推出的一款高性能干式螺桿真空泵，隸屬于 SDE-TX 系列，專為應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體、顯示器、化學(xué)氣相沉積（CVD）等苛刻工藝環(huán)境而設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-05-20

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

實(shí)驗(yàn)室儀器及設(shè)備

高通量反應(yīng)模塊培養(yǎng)基制備器凍干機(jī) 水浴/油浴/恒溫槽真空泵攪拌器/分散機(jī) 離心機(jī) 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀馬弗爐噴霧干燥器滅菌器電子滴定器瓶口分配器天平純水耗材純水器移液器蠕動(dòng)泵重量稀釋器均質(zhì)器均質(zhì)袋

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產(chǎn)品介紹

品牌	KASHIYAMA/日本	價(jià)格區(qū)間	面議
儀器種類	真空泵	產(chǎn)品類型	無油泵
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	食品/農(nóng)產(chǎn)品,能源,制藥/生物制藥,綜合

KASHIYAMA SDE120TX 真空泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

KASHIYAMA SDE120TX 真空泵是一款高性能干式真空泵，專為半導(dǎo)體、光電顯示、化學(xué)氣相沉積（CVD）、蝕刻（Etch）和其他工藝環(huán)境設(shè)計(jì)。該機(jī)型隸屬于日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industries, Ltd.）SDE-TX 系列，采用先進(jìn)的垂直螺桿結(jié)構(gòu)，具有出色的耐腐蝕性能和穩(wěn)定性，是現(xiàn)代真空系統(tǒng)的理想選擇。

技術(shù)參數(shù)

最大抽速：1500 L/min
極限壓力：1.3 Pa（不加氮?dú)鈺r(shí)）
輸入電壓：三相 AC200–220V，50/60Hz
功耗：約 2.8 kW
外形尺寸：約 930 mm × 400 mm × 500 mm
整機(jī)重量：約 151 kg

產(chǎn)品特點(diǎn)

大抽速性能：最大抽速可達(dá) 1,500 L/min，滿足苛刻工藝對(duì)真空效率的高要求。
低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮?dú)獯祾邥r(shí)亦可維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行。
干式運(yùn)行設(shè)計(jì)：無油結(jié)構(gòu)避免了污染風(fēng)險(xiǎn)，特別適合潔凈室環(huán)境和高純度工藝。
高可靠性結(jié)構(gòu)：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長(zhǎng)泵體壽命。
適應(yīng)惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng)，適用于處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備（Etch）
化學(xué)氣相沉積（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）
原子層沉積（ALD）
OLED 與液晶面板制造
精密薄膜沉積與剝離工藝
實(shí)驗(yàn)室與潔凈室真空系統(tǒng)

可選功能配置

前級(jí)加熱排氣配管系統(tǒng)：防止冷凝和積碳，增強(qiáng)系統(tǒng)穩(wěn)定性。
多級(jí)溫控系統(tǒng)：根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度，提高兼容性。
除害裝置聯(lián)動(dòng)接口：支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升環(huán)保性能。
遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警系統(tǒng)：實(shí)時(shí)掌握泵體運(yùn)行狀態(tài)，便于系統(tǒng)集成與自動(dòng)化管理。

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