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產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)D500壓差式質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào)：D500
更新時(shí)間：2025-04-07
廠商性質(zhì)：代理商
訪問(wèn)量：330
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場(chǎng) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 0.2% 滿量程 至 100% 滿量程 | 響應(yīng)時(shí)間 | < 0.8 s |
| 功能 | 多氣體/多量程/多壓力 |
CRITERION D500 是 HORIBA 推出的高性能壓差式質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體工藝氣體控制設(shè)計(jì)，兼具高精度、快速響應(yīng)和穩(wěn)定性，適用于對(duì)氣體流量有嚴(yán)格要求的應(yīng)用環(huán)境。
壓力不敏感性能（Pressure Insensitive）
內(nèi)置壓力補(bǔ)償控制技術(shù)，有效抑制供氣壓力波動(dòng)的影響
簡(jiǎn)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)，無(wú)需額外穩(wěn)壓設(shè)備
多量程 / 多氣體 / 多壓力自適應(yīng)
支持多種氣體類型、多種滿量程流量設(shè)定
可根據(jù)需要靈活調(diào)整供氣壓力范圍
一機(jī)多用，適應(yīng)多種工藝場(chǎng)景
G-LIFE 自診斷功能
內(nèi)置基于氣體定律（限流器方程）的自檢功能
操作人員可在3秒內(nèi)完成流量狀態(tài)測(cè)試
提高設(shè)備維護(hù)效率和生產(chǎn)連續(xù)性
三維調(diào)整技術(shù)
通過(guò)流量通道結(jié)構(gòu)與壓力傳感器的位置優(yōu)化，提升測(cè)量線性度與精度
提供更穩(wěn)定、重復(fù)性更高的流量控制
快速響應(yīng)能力
控制響應(yīng)時(shí)間小于0.8秒
滿足快速切換及精細(xì)控制需求
寬動(dòng)態(tài)控制范圍
控制范圍：0.2% ~ 100% 滿量程
精確控制微小流量至大流量需求
| 參數(shù) | 數(shù)值 |
| 流量類型 | 質(zhì)量流量（壓力差原理） |
| 控制方式 | 數(shù)字閉環(huán)控制 |
| 控制響應(yīng)時(shí)間 | < 0.8 秒 |
| 控制精度 | 優(yōu)于 ±1.0% F.S. |
| 重復(fù)性 | 優(yōu)于 ±0.2% F.S. |
| 接口類型 | VCR / Swagelok 可選 |
| 適用氣體 | 多種（N?、H?、Ar、He、O? 等） |
| 供電電壓 | ±15 VDC / 24 VDC |
| 通信接口 | RS-485 / DeviceNet（可選） |
| 工作溫度范圍 | 15 ~ 45 ℃ |
| 氣體通道材質(zhì) | SUS316L（內(nèi)表面電拋光） |
半導(dǎo)體制造工藝氣體輸送控制
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顯影、蝕刻、擴(kuò)散工藝
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