HORIBA CRITERION D500 壓差式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

CRITERION D500 是 HORIBA 推出的高性能壓差式質(zhì)量流量控制器，專為半導(dǎo)體工藝氣體控制設(shè)計(jì)，兼具高精度、快速響應(yīng)和穩(wěn)定性，適用于對氣體流量有嚴(yán)格要求的應(yīng)用環(huán)境。

產(chǎn)品特點(diǎn)

壓力不敏感性能（Pressure Insensitive）

• 內(nèi)置壓力補(bǔ)償控制技術(shù)，有效抑制供氣壓力波動(dòng)的影響

• 簡化系統(tǒng)設(shè)計(jì)，無需額外穩(wěn)壓設(shè)備

多量程 / 多氣體 / 多壓力自適應(yīng)

• 支持多種氣體類型、多種滿量程流量設(shè)定

• 可根據(jù)需要靈活調(diào)整供氣壓力范圍

• 一機(jī)多用，適應(yīng)多種工藝場景

G-LIFE 自診斷功能

• 內(nèi)置基于氣體定律（限流器方程）的自檢功能

• 操作人員可在3秒內(nèi)完成流量狀態(tài)測試

• 提高設(shè)備維護(hù)效率和生產(chǎn)連續(xù)性

三維調(diào)整技術(shù)

• 通過流量通道結(jié)構(gòu)與壓力傳感器的位置優(yōu)化，提升測量線性度與精度

• 提供更穩(wěn)定、重復(fù)性更高的流量控制

快速響應(yīng)能力

• 控制響應(yīng)時(shí)間小于0.8秒

• 滿足快速切換及精細(xì)控制需求

寬動(dòng)態(tài)控制范圍

• 控制范圍：0.2% ~ 100% 滿量程

• 精確控制微小流量至大流量需求

技術(shù)規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制造工藝氣體輸送控制

• 化學(xué)氣相沉積（CVD）

• 原子層沉積（ALD）

• 顯影、蝕刻、擴(kuò)散工藝

• 實(shí)驗(yàn)室精密氣體配比系統(tǒng)