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HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號(hào)之一。
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器,隸屬于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。該系列產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景設(shè)計(jì),具備高精度、多通信協(xié)議支持和快速響應(yīng)等特點(diǎn)。
HORIBA 氣體質(zhì)量流量計(jì) SEC-Z522MGX 是一款高性能、多氣體/多量程的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),隸屬于 HORIBA Z500X 系列,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光通信、精密氣體控制實(shí)驗(yàn)室等對(duì)氣體流量要求較高的工業(yè)場(chǎng)景。
SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器(MFC),隸屬于 SEC-Z500X 系列,專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。
HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質(zhì)量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列,專為半導(dǎo)體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設(shè)計(jì)。
HORIBA SEC-N112MGM 是 HORIBA STEC 公司推出的 SEC-N100 系列中的高性能模擬型熱式質(zhì)量流量控制器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。
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