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HORIBA GR-511F 是一款專為半導體制造工藝設計的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器，主要用于在靜電吸盤（ESC）環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量，以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。
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