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質(zhì)量流量計(jì)
HORIBA S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器




產(chǎn)品型號:HORIBA S600 BR212/BR222
更新時(shí)間:2025-04-07
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:487
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
| 品牌 | HORIBA/堀場 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
| 控制范圍 | 3 SCCM到500 SLM | 支持氣體 | 多種氣體(支持用戶自定義設(shè)置) |
| 控制精度 | ±1.0% | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1.5 秒 |
| 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬(0–5V/4–20mA) |
S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā),是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品,適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個(gè)制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù),具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力,廣泛應(yīng)用于對氣體流量控制要求較高的場合。
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。
高控制精度
控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.,響應(yīng)時(shí)間小于 1.5 秒,確保控制過程的高一致性。
多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,便于系統(tǒng)集成。
多供電及密封選項(xiàng)
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應(yīng)不同使用環(huán)境。
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設(shè)計(jì),適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境,減少維護(hù)頻次。

半導(dǎo)體制造
光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場合。
光伏設(shè)備制造
多晶硅擴(kuò)散、PECVD等。
生物制藥行業(yè)
精密氣體反應(yīng)控制、細(xì)胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調(diào)節(jié)。
食品和飲料
氣調(diào)包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。
工業(yè)爐與熱處理設(shè)備
氣氛控制,提升熱處理質(zhì)量與一致性。
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