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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)HORIBA S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡介:

S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量:從3 SCCM到500 SLM,并具有各種類型的通信可用,支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出。

產(chǎn)品型號:HORIBA S600 BR212/BR222

更新時(shí)間:2025-04-07

廠商性質(zhì):代理商

訪問量:487

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產(chǎn)品介紹
品牌HORIBA/堀場價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類差壓式介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
控制范圍3 SCCM到500 SLM支持氣體多種氣體(支持用戶自定義設(shè)置)
控制精度±1.0%響應(yīng)時(shí)間≤1.5 秒
通信接口RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬(0–5V/4–20mA)

HORIBA S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā),是一款高性能、高可靠性的MFC產(chǎn)品,適用于半導(dǎo)體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個(gè)制造領(lǐng)域。該系列控制器采用優(yōu)良的數(shù)字控制技術(shù),具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力,廣泛應(yīng)用于對氣體流量控制要求較高的場合。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 寬流量控制范圍
    控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。

  • 高控制精度
    控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.,響應(yīng)時(shí)間小于 1.5 秒,確保控制過程的高一致性。

  • 多種通訊接口
    支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出,便于系統(tǒng)集成。

  • 多供電及密封選項(xiàng)
    支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應(yīng)不同使用環(huán)境。

  • 優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
    高可靠性設(shè)計(jì),適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境,減少維護(hù)頻次。

技術(shù)規(guī)格

氣體質(zhì)量流量控制器

適用場景

  • 半導(dǎo)體制造
    光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場合。

  • 光伏設(shè)備制造
    多晶硅擴(kuò)散、PECVD等。

  • 生物制藥行業(yè)
    精密氣體反應(yīng)控制、細(xì)胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調(diào)節(jié)。

  • 食品和飲料
    氣調(diào)包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。

  • 工業(yè)爐與熱處理設(shè)備
    氣氛控制,提升熱處理質(zhì)量與一致性。



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