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質(zhì)量流量計(jì)
SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-10-20
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:53
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
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| 品牌 | HORIBA/堀場(chǎng) | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 其他 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 |
HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號(hào)之一。
該系列基于 熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理(Thermal Mass Flow Measurement),采用高精度傳感元件與高速控制算法,實(shí)現(xiàn)對(duì)各類氣體的高精度、快速、穩(wěn)定的流量控制。
憑借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的響應(yīng)速度,SEC-N112MGM 廣泛應(yīng)用于 半導(dǎo)體工藝、真空鍍膜、精密氣體配比、科研氣體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng) 等領(lǐng)域。
熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理(Thermal Mass Flow Method)
基于加熱與溫度差檢測(cè)原理,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償。
高精度 ±1.0% S.P. 控制
通過(guò)內(nèi)置 PID 控制與數(shù)字反饋系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和線性響應(yīng)。
快速響應(yīng) ≤ 1 秒
采用 HORIBA 的 Variable PID 技術(shù),確保流量變化時(shí)快速穩(wěn)定。
多氣體/多量程(Multi-Gas, Multi-Range)功能
支持多種氣體預(yù)設(shè)(N?、Ar、O?、H?、He、CF? 等),可通過(guò)軟件切換不同氣體與流量量程。
豐富的通信接口
提供 RS-485(F-NET 協(xié)議)數(shù)字通信及模擬信號(hào)(0–5 V、4–20 mA)接口,支持多種控制系統(tǒng)集成。
金屬密封結(jié)構(gòu) (MGM)
采用全金屬密封設(shè)計(jì),適用于高純氣體及真空工藝環(huán)境。
高可靠性與低漂移
長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)異,適用于連續(xù)運(yùn)行與高精度氣體配比控制。
全球服務(wù)與可追溯校準(zhǔn)
HORIBA 提供全球一致的校準(zhǔn)體系,符合 ISO 9001 與 CE 認(rèn)證。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號(hào) | HORIBA STEC SEC-N112MGM |
| 系列 | SEC-N100 Series |
| 測(cè)量原理 | 熱式質(zhì)量流量(Thermal Mass Flow) |
| 滿量程范圍 | 10 SCCM ~ 1000 SLM (可選,N? 標(biāo)準(zhǔn)氣體) |
| 控制精度 | ± 1.0 % S.P. (≥ 35 % F.S. 時(shí)) |
| 重復(fù)性 | ± 0.2 % F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 秒(設(shè)定點(diǎn)到穩(wěn)定輸出) |
| 工作壓力 | ≤ 0.3 MPa(典型) |
| 通信接口 | RS-485 (F-NET Protocol) |
| 信號(hào)輸出 | 模擬 0–5 V / 4–20 mA |
| 密封結(jié)構(gòu) | MGM = 金屬密封(適用于高純氣體) |
| 氣體類型 | N?、O?、Ar、He、H?、CF? 等(可編程) |
| 工作溫度范圍 | 15 ℃ ~ 45 ℃ |
| 安裝方式 | 水平或垂直安裝 |
| 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | CE、RoHS、ISO 9001 校準(zhǔn)體系 |
| 產(chǎn)地 | 日本 Kyoto 堀場(chǎng)制作所 |
半導(dǎo)體制造工藝氣體流量控制(CVD、PVD、ALD 等)
精密真空鍍膜與薄膜沉積設(shè)備
高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)(氣體柜、混氣系統(tǒng))
科研與實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)控裝置
環(huán)保監(jiān)測(cè)、燃燒分析及精密儀器氣路控制
HORIBA STEC 是日本堀場(chǎng)集團(tuán)(HORIBA Ltd.)旗下專注于 氣體流量測(cè)量與控制技術(shù) 的核心子公司,總部位于京都。
其質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)產(chǎn)品在全球半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器行業(yè)中占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。
憑借 50 余年的熱式流量計(jì)技術(shù)積累、嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系、以及優(yōu)良的數(shù)字化控制技術(shù),HORIBA STEC 的產(chǎn)品被廣泛認(rèn)可為高精度、高可靠性、高壽命的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
| 型號(hào) | 通信方式 | 密封方式 | 典型用途 |
|---|---|---|---|
| SEC-N102 | RS-485 / F-NET | 金屬或橡膠密封 | 通用科研、分析儀器 |
| SEC-N112MGM | RS-485 / F-NET | 金屬密封 | 高純氣體、半導(dǎo)體工藝控制 |
| SEC-N104 | DeviceNet™ | 金屬密封 | 工業(yè)自動(dòng)化集成系統(tǒng) |
| SEC-N105 | CC-Link® | 金屬密封 | 與日系設(shè)備兼容系統(tǒng) |
| SEC-N107 | EtherCAT® | 金屬密封 | 高速現(xiàn)場(chǎng)總線控制應(yīng)用 |
Q1:SEC-N112MGM 與普通流量計(jì)有什么區(qū)別?
A1:SEC-N112MGM 為熱式質(zhì)量流量控制器(MFC),可主動(dòng)控制并保持流量穩(wěn)定,而普通流量計(jì)只能被動(dòng)顯示。
Q2:是否可以測(cè)量多種氣體?
A2:支持多氣體功能,可通過(guò)數(shù)字接口切換氣體類型(N?、O?、Ar 等)。
Q3:是否需要溫壓補(bǔ)償?
A3:無(wú)需,因其采用熱式原理,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量。
Q4:如何校準(zhǔn)?
A4:HORIBA 提供出廠校準(zhǔn)及追溯證書,用戶可送回或通過(guò)代理商進(jìn)行周期校準(zhǔn)。
Q5:是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信?
A5:該型號(hào)為 RS-485 版本,若需 EtherCAT 可選擇 SEC-N107 型號(hào)。
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