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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器

SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號(hào)之一。

產(chǎn)品型號(hào):

更新時(shí)間:2025-10-20

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:53

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品介紹
品牌HORIBA/堀場(chǎng)價(jià)格區(qū)間5千-1萬(wàn)
產(chǎn)品種類其他介質(zhì)分類氣體
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,綜合

HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型號(hào)之一。
該系列基于 熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理(Thermal Mass Flow Measurement),采用高精度傳感元件與高速控制算法,實(shí)現(xiàn)對(duì)各類氣體的高精度、快速、穩(wěn)定的流量控制。
憑借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的響應(yīng)速度,SEC-N112MGM 廣泛應(yīng)用于 半導(dǎo)體工藝、真空鍍膜、精密氣體配比、科研氣體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng) 等領(lǐng)域。

主要特性與優(yōu)勢(shì)

  1. 熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理(Thermal Mass Flow Method)
    基于加熱與溫度差檢測(cè)原理,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償。

  2. 高精度 ±1.0% S.P. 控制
    通過(guò)內(nèi)置 PID 控制與數(shù)字反饋系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和線性響應(yīng)。

  3. 快速響應(yīng) ≤ 1 秒
    采用 HORIBA 的 Variable PID 技術(shù),確保流量變化時(shí)快速穩(wěn)定。

  4. 多氣體/多量程(Multi-Gas, Multi-Range)功能
    支持多種氣體預(yù)設(shè)(N?、Ar、O?、H?、He、CF? 等),可通過(guò)軟件切換不同氣體與流量量程。

  5. 豐富的通信接口
    提供 RS-485(F-NET 協(xié)議)數(shù)字通信及模擬信號(hào)(0–5 V、4–20 mA)接口,支持多種控制系統(tǒng)集成。

  6. 金屬密封結(jié)構(gòu) (MGM)
    采用全金屬密封設(shè)計(jì),適用于高純氣體及真空工藝環(huán)境。

  7. 高可靠性與低漂移
    長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)異,適用于連續(xù)運(yùn)行與高精度氣體配比控制。

  8. 全球服務(wù)與可追溯校準(zhǔn)
    HORIBA 提供全球一致的校準(zhǔn)體系,符合 ISO 9001 與 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目參數(shù)
型號(hào)HORIBA STEC SEC-N112MGM
系列SEC-N100 Series
測(cè)量原理熱式質(zhì)量流量(Thermal Mass Flow)
滿量程范圍10 SCCM ~ 1000 SLM (可選,N? 標(biāo)準(zhǔn)氣體)
控制精度± 1.0 % S.P. (≥ 35 % F.S. 時(shí))
重復(fù)性± 0.2 % F.S.
響應(yīng)時(shí)間≤ 1 秒(設(shè)定點(diǎn)到穩(wěn)定輸出)
工作壓力≤ 0.3 MPa(典型)
通信接口RS-485 (F-NET Protocol)
信號(hào)輸出模擬 0–5 V / 4–20 mA
密封結(jié)構(gòu)MGM = 金屬密封(適用于高純氣體)
氣體類型N?、O?、Ar、He、H?、CF? 等(可編程)
工作溫度范圍15 ℃ ~ 45 ℃
安裝方式水平或垂直安裝
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)CE、RoHS、ISO 9001 校準(zhǔn)體系
產(chǎn)地日本 Kyoto 堀場(chǎng)制作所












應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體制造工藝氣體流量控制(CVD、PVD、ALD 等)

  • 精密真空鍍膜與薄膜沉積設(shè)備

  • 高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)(氣體柜、混氣系統(tǒng))

  • 科研與實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)控裝置

  • 環(huán)保監(jiān)測(cè)、燃燒分析及精密儀器氣路控制

品牌介紹

HORIBA STEC 是日本堀場(chǎng)集團(tuán)(HORIBA Ltd.)旗下專注于 氣體流量測(cè)量與控制技術(shù) 的核心子公司,總部位于京都。
其質(zhì)量流量控制器(MFC/MFM)產(chǎn)品在全球半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器行業(yè)中占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。
憑借 50 余年的熱式流量計(jì)技術(shù)積累、嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系、以及優(yōu)良的數(shù)字化控制技術(shù),HORIBA STEC 的產(chǎn)品被廣泛認(rèn)可為高精度、高可靠性、高壽命的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品選型建議

型號(hào)通信方式密封方式典型用途
SEC-N102RS-485 / F-NET金屬或橡膠密封通用科研、分析儀器
SEC-N112MGMRS-485 / F-NET金屬密封高純氣體、半導(dǎo)體工藝控制
SEC-N104DeviceNet™金屬密封工業(yè)自動(dòng)化集成系統(tǒng)
SEC-N105CC-Link®金屬密封與日系設(shè)備兼容系統(tǒng)
SEC-N107EtherCAT®金屬密封高速現(xiàn)場(chǎng)總線控制應(yīng)用





常見(jiàn)問(wèn)題 FAQ

Q1:SEC-N112MGM 與普通流量計(jì)有什么區(qū)別?
A1:SEC-N112MGM 為熱式質(zhì)量流量控制器(MFC),可主動(dòng)控制并保持流量穩(wěn)定,而普通流量計(jì)只能被動(dòng)顯示。

Q2:是否可以測(cè)量多種氣體?
A2:支持多氣體功能,可通過(guò)數(shù)字接口切換氣體類型(N?、O?、Ar 等)。

Q3:是否需要溫壓補(bǔ)償?
A3:無(wú)需,因其采用熱式原理,直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量。

Q4:如何校準(zhǔn)?
A4:HORIBA 提供出廠校準(zhǔn)及追溯證書,用戶可送回或通過(guò)代理商進(jìn)行周期校準(zhǔn)。

Q5:是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信?
A5:該型號(hào)為 RS-485 版本,若需 EtherCAT 可選擇 SEC-N107 型號(hào)。

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