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產品型號：HORIBA
更新時間：2025-04-07
廠商性質：代理商
訪問量：561
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| 品牌 | HORIBA/堀場 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 差壓式 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
| 控制范圍 | 3 SCCM到500 SLM | 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設置） |
| 控制精度 | ±1.0% | 響應時間 | ≤1.5 秒 |
| 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA） |
S600系列數字質量流量控制器由日本HORIBA STEC公司研發(fā)，是一款高性能、高可靠性的MFC產品，適用于半導體、光伏、生物醫(yī)藥、食品包裝等多個制造領域。該系列控制器采用優(yōu)良的數字控制技術，具備出色的穩(wěn)定性、精度及通訊能力，廣泛應用于對氣體流量控制要求較高的場合。
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 3 SCCM 到 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。
高控制精度
控制精度高達 ±1.0% S.P.，響應時間小于 1.5 秒，確?？刂七^程的高一致性。
多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出，便于系統(tǒng)集成。
多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應不同使用環(huán)境。
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性與耐久性
高可靠性設計，適應嚴苛工業(yè)環(huán)境，減少維護頻次。
| 參數 | 數值 |
| 可控氣體種類 | N?、O?、Ar、He、H?、空氣等 |
| 流量控制范圍 | 3 SCCM ~ 500 SLM |
| 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 1.5 秒 |
| 通訊方式 | 模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供電電壓 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接頭類型 | 1/4" VCR、Swagelok、卡套接頭等 |
| 密封形式 | 橡膠密封（R）、金屬密封（M） |
| 安裝方向 | 任意方向 |
| 工作環(huán)境 | 5–45°C，濕度小于90%RH |
半導體制造
光刻、離子注入、CVD、PVD等氣體控制場合。
光伏設備制造
多晶硅擴散、PECVD等。
生物制藥行業(yè)
精密氣體反應控制、細胞發(fā)酵培養(yǎng)氣氛調節(jié)。
食品和飲料
氣調包裝、注氮灌裝、飲料殺菌與保存過程。
工業(yè)爐與熱處理設備
氣氛控制，提升熱處理質量與一致性。
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