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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)HORIBASEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器

SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥,可實(shí)現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件,SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。

產(chǎn)品型號(hào):HORIBA

更新時(shí)間:2025-04-07

廠商性質(zhì):代理商

訪問(wèn)量:274

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品介紹
品牌HORIBA/堀場(chǎng)價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類(lèi)差壓式介質(zhì)分類(lèi)氣體
產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥
控制范圍10 SCCM 至 200 SLM支持氣體多種標(biāo)準(zhǔn)及特殊氣體
控制精度±1.0%響應(yīng)時(shí)間≤1秒
通信接口模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS

HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡(jiǎn)稱 MFC),適用于各種工業(yè)與科研應(yīng)用。該系列產(chǎn)品通過(guò)熱式傳感器檢測(cè)氣體流量,并搭配高響應(yīng)電磁閥進(jìn)行精準(zhǔn)控制,支持多種氣體類(lèi)型與廣泛的流量范圍,性能穩(wěn)定,控制精度高。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高精度熱式傳感器
    內(nèi)置熱傳感器可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)流量測(cè)量,確保流量控制的高精度與重復(fù)性。

  • 電磁閥控制
    快速響應(yīng)的電磁閥結(jié)構(gòu),具備良好的流量調(diào)節(jié)能力,適合動(dòng)態(tài)工況。

  • 多氣體兼容性
    支持多種標(biāo)準(zhǔn)及特種氣體,如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。

  • 寬流量控制范圍
    控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM,涵蓋從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到工業(yè)規(guī)模的多種需求。

  • 數(shù)字/模擬信號(hào)兼容
    提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數(shù)字通訊(RS485, DeviceNet, PROFIBUS)接口,便于系統(tǒng)集成。

  • 緊湊設(shè)計(jì),易于安裝
    模塊化結(jié)構(gòu),體積小,適合集成到各類(lèi)設(shè)備或系統(tǒng)中。

技術(shù)規(guī)格


參數(shù)數(shù)值
可控氣體種類(lèi)多種標(biāo)準(zhǔn)及特殊氣體
流量控制范圍10 SCCM ~ 200 SLM(以 N? 為基準(zhǔn))
控制精度±1.0% F.S.(標(biāo)準(zhǔn)型)
重復(fù)精度±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間≤1 秒
通訊方式模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS
供電電壓±15VDC 或 +24VDC
接頭類(lèi)型1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選
操作溫度范圍5 ~ 50°C














SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器


適用場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造

  • 薄膜沉積(CVD, PVD)

  • 離子注入

  • 等離子蝕刻

  • 光刻工藝輔助

工業(yè)控制

  • 氣體混合系統(tǒng)

  • 燃燒器氣體配比

  • 工業(yè)氣體監(jiān)控

科研實(shí)驗(yàn)

  • 氣體傳感器實(shí)驗(yàn)

  • 微反應(yīng)器進(jìn)氣控制

  • 生物技術(shù)及制藥行業(yè)實(shí)驗(yàn)


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