SEC-8000F/D/E 系列高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作，用于半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體加工在內(nèi)的各種工作任務(wù)。

產(chǎn)品型號：SEC-8000 F/D/E 系列

更新時間：2025-04-07

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產(chǎn)品介紹

品牌	HORIBA/堀場	價格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	差壓式	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件
動態(tài)范圍	3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定）	支持氣體	各類高純氣體、腐蝕性氣體
控制精度	±1.0%	響應(yīng)時間	≤1 秒
通信接口	數(shù)字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D）	使用溫度	5～50°C
工作壓力	1 ~ 3 bar	接口類型	1/4

HORIBA SEC-8000F/D/E 系列高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款專為高溫環(huán)境設(shè)計的高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），適用于 15°C 至 120°C 的使用溫度范圍。該系列產(chǎn)品集成了高精度控制、快速響應(yīng)和高潔凈設(shè)計，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏和光纖等行業(yè)的高溫氣體流程管理。

產(chǎn)品特點

高溫適用性：可在 15°C 至 120°C 的環(huán)境下穩(wěn)定運行，滿足苛刻工藝條件。
高精度控制：控制精度高達(dá) ±1.0% of S.P.，確保關(guān)鍵工藝中流量穩(wěn)定可靠。
快速響應(yīng)性能：響應(yīng)時間短，提高系統(tǒng)整體效率，適合動態(tài)氣體控制需求。
全金屬超潔凈設(shè)計：適用于高純氣體和腐蝕性氣體，適配最嚴(yán)苛潔凈度要求。
多種通訊協(xié)議：支持?jǐn)?shù)字（RS485）與 DeviceNet 通訊（根據(jù)型號區(qū)分）。
環(huán)保合規(guī)：通過 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)，降低對環(huán)境的影響。

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)	數(shù)值
控制范圍	3 SCCM 至 150 SLPM（具體視氣體種類與型號而定）
支持氣體	各類高純氣體、腐蝕性氣體
控制精度	±1.0% of Set Point（1~100% F.S.）
重復(fù)精度	±0.2% of F.S.
響應(yīng)時間	≤1 秒
通信接口	數(shù)字：RS485（SEC-8000F），DeviceNet（SEC-8000D）
工作壓力	1 ~ 3 bar
使用溫度	15～120°C
接口類型	1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可選
電源要求	24 VDC ±10%
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)	SCE、RoHS、SEMI 等