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PRODUCT CENTER

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當前位置:首頁產品中心在線分析儀器質量流量計S48-32氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器
產品簡介:

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。

產品型號:S48-32

更新時間:2025-04-07

廠商性質:代理商

訪問量:388

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產品介紹
品牌HORIBA/堀場價格區(qū)間面議
產品種類差壓式介質分類氣體
產地類別進口應用領域環(huán)保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件
控制精度±1.0%響應時間≤1 秒
通信接口模擬電壓信號(0~5 VDC)或數(shù)字通訊(選配)使用溫度5~50°C
工作壓力50~300 kPa

HORIBA S48系列氣體質量流量控制器

產品概述

HORIBA S48系列氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),適用于多種氣體控制場合,兼具高精度、快速響應和高穩(wěn)定性,廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領域。

產品特點

  • 安裝靈活:支持任意角度安裝,提升現(xiàn)場布局的自由度。

  • 高精度控制:采用多段線性調整技術,控制精度更高,調節(jié)比更寬。

  • 快速響應:T98響應時間小于1秒,滿足快速過程控制需求。

  • 自動零點調整:具備自動零點修正功能,有效補償環(huán)境變化帶來的偏差。

  • 多氣體兼容:可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。

  • 豐富的流量范圍:覆蓋10 SCCM至50 SLM,滿足從微量到大流量的不同應用。

技術規(guī)格

氣體質量流量控制器

應用領域

  • 分析儀器:用于氣相色譜、光譜儀、質譜儀等氣體控制部分。

  • 實驗室研究:氣體混合、等離子體實驗、化學反應氣體流量控制。

  • 半導體與真空工藝:PVD、CVD、刻蝕、擴散等工藝中的精密氣體輸送。

  • 太陽能電池制造:氣體沉積、氣氛控制。

  • 光纖制造:MCVD/VAD/OVD等工藝中對反應氣的精確控制。

  • 環(huán)境監(jiān)測:VOCs檢測、PM2.5分析、動態(tài)稀釋系統(tǒng)。

  • 爐窯控制:氣體配比、燃燒控制等工業(yè)過程。




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