HORIBA D700T 壓力不敏感質量流量控制器

產品概述

HORIBA D700T 是一款面向半導體制造領域的壓力不敏感質量流量控制器，采用優(yōu)良的 CRITERION® 壓力式流量測量與控制技術，具備出色的響應速度、壓力不敏感性和高精度控制能力。該產品被廣泛應用于半導體、顯示器、光電子等制造領域的氣體輸送系統(tǒng)中。

產品特點

• 超快響應時間
  配備新一代控制算法和雙閥門結構，實現(xiàn)了 小于 100 ms 的高速響應，大幅提高了生產效率。

• 進/出口壓力變化不敏感
  補償機制可在工藝過程中壓力波動的情況下維持穩(wěn)定流量，保障工藝一致性。

• 高重復性與高精度

• 重復性：≤ ±0.15% F.S.

• 精度：優(yōu)良可達 ±0.45% S.P.，典型值為 ±0.8% S.P.

• 故障檢測與自診斷功能
  具備優(yōu)良的自診斷能力，實時監(jiān)測并反饋壓力漂移、閥體泄漏等潛在風險。

• 數(shù)字化通信接口
  支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工業(yè)協(xié)議，方便與上位系統(tǒng)集成。

• 適應嚴苛工藝環(huán)境
  工作溫度范圍：15°C ~ 60°C，適用于各種潔凈室條件。

技術規(guī)格

應用領域

• 半導體前段工藝（如刻蝕、沉積、離子注入）

• 顯示面板制造

• 化學氣相沉積（CVD）

• 原子層沉積（ALD）

• 光電子與精密材料工藝