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HORIBA S48-32/HMT 是一款廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED、LCD 等行業(yè)的高精度熱式質(zhì)量流量控制器。

HORIBA STEC SEC-Z512 是一款廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、LED 和液晶面板制造行業(yè)的高精度數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）。

HORIBA SEC-N112 是一款高性能、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，隸屬于 HORIBA SEC-N100 系列，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏產(chǎn)業(yè)、LED 制造及液晶面板生產(chǎn)等高精度氣體控制領(lǐng)域。

HORIBA GR-224FD 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器（Auto Pressure Regulator, APR），其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力，從而實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。

HORIBA GR-300 系列 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器（Auto Pressure Regulator, APR），其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力，從而實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。

HORIBA LF-F / LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器 是專為微小液體流量測(cè)量和控制而設(shè)計(jì)的高性能設(shè)備。