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SEC-Z700X系列壓力補償質量流量控制器配備了可靠的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。

SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。

壓差式質量流量控制器 D500這款技術優(yōu)良的質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導體制程，具有壓力補償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能，高精度、快速響應、寬量程、全金屬等特點。

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質量流量控制器適用于各種行業(yè)和應用。該質量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。