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HORIBA GR-300 系列 是一款專為半導(dǎo)體制造環(huán)境開發(fā)的自動壓力調(diào)節(jié)器/質(zhì)量流量傳感器（Auto Pressure Regulator, APR），其核心功能是控制晶圓背面腔體中的氣體壓力，從而實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定和熱傳導(dǎo)效率的優(yōu)化。

HORIBA LF-F / LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器 是專為微小液體流量測量和控制而設(shè)計(jì)的高性能設(shè)備。

HORIBA 的 XF-100 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量計(jì)是一款專為半導(dǎo)體制造等高精度流體控制場景設(shè)計(jì)的儀器。

SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。

S600 BR212/BR222氣體質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。S600系列可以控制廣泛的流量：從3 SCCM到500 SLM，并具有各種類型的通信可用，支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出。

HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。