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HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質(zhì)量流量控制器,專為半導體及相關行業(yè)中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發(fā)。
D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優(yōu)秀的壓力不敏感質(zhì)量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術,以提供行業(yè)優(yōu)秀的可重復和準確的性能。
HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。
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HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),適用于多種氣體控制場合,兼具高精度、快速響應和高穩(wěn)定性,廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領域。
SEC-8000F/D/E 系列高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作,用于半導體和化合物半導體加工在內(nèi)的各種工作任務。
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